高纯水（High purity water）是指25℃时电导率小于0.1 μs/cm和残余含盐量小于0.3 mg/L，并去除了非电介质的微量细菌、微生物、微粒等杂质的水。制备方法有蒸馏、膜分离、离子交换和灭菌。主要用于电子和微电子工业，也用于食品、造纸、医药、电子、核工业等行业。

高纯水是化学纯度极高的水，是指将水中的导电介质几乎全部去除，又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水，其中杂质的含量小于0.1 mg/L，电导率小于0.1 μS/cm， pH在6.8～7.0之间。人们制成的高纯水的纯度已经达到99.999999%，其中杂质含量低于0.01 mg/L。

我公司参与设计，施工的高纯水制备的典型工艺流程如下：

源水→过滤→活性炭过滤器（或阳离子交换柱）→反渗透（一级/二级）→ 混合离子交换柱→有机物吸附柱→紫外灯杀菌器→精密过滤器→高纯水。

高纯水的制备流程由预处理、脱盐和后处理三部分组成，根据用水的要求，选择合适的工艺组合。

（1）预处理。主要是除去悬浮物、有机物，常用的方法有砂滤、膜过滤、活性炭吸附等。

（2）脱盐。主要是除去各种盐类，常用的方法有电渗析、反渗透、离子交换等。

（3）后处理。主要是除去细菌、微颗粒，常用的方法有紫外杀菌、臭氧杀菌、超过滤、微孔过滤等。